By Richie Lin    Photo：CANVA

三甲基铝（TMA）是一种高度反应性的化合物，主要用于需要甲基化剂、催化剂或薄膜沉积的工业应用。以下是利用TMA的主要行业：

1半导体和电子行业应用：

• 化学气相沉积 (CVD) 和原子层沉积 (ALD)：

TMA广泛用作沉积铝含薄膜的前驱体，而这些薄膜在制造以下产品中至关重要：

1. • 微处理器
   • 存储晶片 (DRAM, NAND)
   • LED基板
   • 液晶萤幕

2.可再生能源行业应用：

• 太阳能电池制造：

TMA 被用于通过 ALD 或 CVD 沉积氧化铝层，从而提高光伏电池的效率。

• 储能系统：

氧化铝涂层保护电池电极，特别是在锂离子电池中，免受退化影响。

由于TMA广泛用于半导体和能源行业的制造，因此它时常在不同国家之间运输。TMA具有高度活性和危险性，因此运输和储存受到严格规范。以下是供参考的基本程式：

1. 三甲基铝的国际运输规范:

A. 分类和法规资讯:

• 联合国编号: UN 3394

• 正确的运输名称: 三甲基铝，易燃

• 危害等级: 4.2 (自燃物质)

• 次级危害等级: 4.3 (遇水时时危险)

• 包装组: I (极大危险)

• 标签要求:

o易燃固体 (4.2)

o潮湿时危险 (4.3)

o有毒 (6.1)，如适用

B. 运输包装要求：

• 材料：

o 使用耐腐蚀的容器（不锈钢或高密度聚乙烯），配备密封阀门。

o 包装必须防止接触空气、湿气和点火源。

• 容器类型：

o 经过联合国认证的带压力释放系统的桶或气瓶。

o 针对自燃液体的压力测试和认证容器。

o 使用二次容器以防止泄漏和溢出。

• 包装方法：

o 在惰性气体（如氮气或氩气）下包装，以防止接触湿气和氧化。

o 包括能够中和泄漏的吸收材料。

C. 特定运输模式指南：

1. 海洋运输（IMDG 规范）：

o 危险品分类：4.2 类（自燃物质）

o 文件：包括安全资料表（SDS）和应急回应资讯。

o 隔离：远离氧化剂、酸和与水反应的材料。

o 通风：确保适当通风以防止蒸汽积聚。

o 应急方式：遵循 IMDG 应急时间表（EmS）指南进行灭火和泄漏控制。

2. 空运（IATA DGR）：

o 危险品分类：4.2 类和 4.3 类

o 包装：特殊 UN 批准的气瓶或桶。

o 限制：仅允许特定航空公司和货运飞机运输易自燃材料。

o 文件：包括安全资料表（SDS）和应急回应资讯。

o 处理：存放在指定的危险材料舱内。

2. 三甲基铝的储存：

A. 储存要求：

• 位置：

o 存放在指定的防火区域，远离人口密集区。

o 维持受控的温度环境以防止过热。

o 远离火源、潮湿、酸和氧化剂。

• 温度控制：

o 储存温度保持在15°C到25°C（59°F到77°F）之间。

o 避免温度波动，以防止容器内压力增大。

• 通风：

o 提供机械通风以散发任何蒸汽。

o 使用防爆设备，确保通风符合ATEX或NFPA 69标准。

• 惰性气体环境：

o 在惰性气体环境保护下存储（例如，氮气或氩气），以防止氧化。

o 确保气体供应持续监控以维持正压力。

B. 火灾防护：

• 灭火器：

o 使用专为可燃金属火灾设计的D类干粉灭火器（例如，Met-L-X或Lith-X）。

o 水、二氧化碳和泡沫灭火器无效，且可能加剧火灾。

• 灭火系统：

o 安装使用干化学剂的自动灭火系统。

o 确保应急关闭阀以便快速隔离。

• 应急计画：

o 制定并实施全面的应急回应计画。

o 培训人员处理涉及可燃材料和气体泄漏的火灾。

C. 标签和文件：

• 标签：

o 清晰标记所有容器，内容包括：

联合国编号（UN 3394）

危害等级标签（4.2, 4.3, 6.1，如果适用）

自燃物和遇水危险的标识

• 文件：

o 维护所有存储容器的最新安全资料表（SDS）。

o 确保紧急联系资讯醒目地展示。

• 检查和维护：

o 定期检查存储容器和阀门，检查是否有泄漏或损坏。

o 立即更换任何损坏的容器，并将其内容物作为危险废物处理。

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