By Richie Lin    Photo：CANVA

三甲基鋁（TMA）是一種高度反應性的化合物，主要用於需要甲基化劑、催化劑或薄膜沉積的工業應用。以下是利用TMA的主要行業：

1半導體和電子行業應用：

• 化學氣相沉積 (CVD) 和原子層沉積 (ALD)：

TMA廣泛用作沉積鋁含薄膜的前驅體，而這些薄膜在製造以下產品中至關重要：

1. • 微處理器
   • 存儲晶片 (DRAM, NAND)
   • LED基板
   • 液晶螢幕

2.可再生能源行業應用：

• 太陽能電池製造：

TMA 被用於通過 ALD 或 CVD 沉積氧化鋁層，從而提高光伏電池的效率。

• 儲能系統：

氧化鋁塗層保護電池電極，特別是在鋰離子電池中，免受退化影響。

由於TMA廣泛用於半導體和能源行業的製造，因此它時常在不同國家之間運輸。TMA具有高度活性和危險性，因此運輸和儲存受到嚴格規範。以下是供參考的基本程式：

1. 三甲基鋁的國際運輸規範:

A. 分類和法規資訊:

• 聯合國編號: UN 3394

• 正確的運輸名稱: 三甲基鋁，易燃

• 危害等級: 4.2 (自燃物質)

• 次級危害等級: 4.3 (遇水時時危險)

• 包裝組: I (極大危險)

• 標籤要求:

o易燃固體 (4.2)

o潮濕時危險 (4.3)

o有毒 (6.1)，如適用

B. 運輸包裝要求：

• 材料：

o 使用耐腐蝕的容器（不銹鋼或高密度聚乙烯），配備密封閥門。

o 包裝必須防止接觸空氣、濕氣和點火源。

• 容器類型：

o 經過聯合國認證的帶壓力釋放系統的桶或氣瓶。

o 針對自燃液體的壓力測試和認證容器。

o 使用二次容器以防止洩漏和溢出。

• 包裝方法：

o 在惰性氣體（如氮氣或氬氣）下包裝，以防止接觸濕氣和氧化。

o 包括能夠中和洩漏的吸收材料。

C. 特定運輸模式指南：

1. 海洋運輸（IMDG 規範）：

o 危險品分類：4.2 類（自燃物質）

o 文件：包括安全資料表（SDS）和應急回應資訊。

o 隔離：遠離氧化劑、酸和與水反應的材料。

o 通風：確保適當通風以防止蒸汽積聚。

o 應急方式：遵循 IMDG 應急時間表（EmS）指南進行滅火和洩漏控制。

2. 空運（IATA DGR）：

o 危險品分類：4.2 類和 4.3 類

o 包裝：特殊 UN 批准的氣瓶或桶。

o 限制：僅允許特定航空公司和貨運飛機運輸易自燃材料。

o 文件：包括安全資料表（SDS）和應急回應資訊。

o 處理：存放在指定的危險材料艙內。

2. 三甲基鋁的儲存：

A. 儲存要求：

• 位置：

o 存放在指定的防火區域，遠離人口密集區。

o 維持受控的溫度環境以防止過熱。

o 遠離火源、潮濕、酸和氧化劑。

• 溫度控制：

o 儲存溫度保持在15°C到25°C（59°F到77°F）之間。

o 避免溫度波動，以防止容器內壓力增大。

• 通風：

o 提供機械通風以散發任何蒸汽。

o 使用防爆設備，確保通風符合ATEX或NFPA 69標準。

• 惰性氣體環境：

o 在惰性氣體環境保護下存儲（例如，氮氣或氬氣），以防止氧化。

o 確保氣體供應持續監控以維持正壓力。

B. 火災防護：

• 滅火器：

o 使用專為可燃金屬火災設計的D類乾粉滅火器（例如，Met-L-X或Lith-X）。

o 水、二氧化碳和泡沫滅火器無效，且可能加劇火災。

• 滅火系統：

o 安裝使用幹化學劑的自動滅火系統。

o 確保應急關閉閥以便快速隔離。

• 應急計畫：

o 制定並實施全面的應急回應計畫。

o 培訓人員處理涉及可燃材料和氣體洩漏的火災。

C. 標籤和文件：

• 標籤：

o 清晰標記所有容器，內容包括：

聯合國編號（UN 3394）

危害等級標籤（4.2, 4.3, 6.1，如果適用）

自燃物和遇水危險的標識

• 文件：

o 維護所有存儲容器的最新安全資料表（SDS）。

o 確保緊急聯繫資訊醒目地展示。

• 檢查和維護：

o 定期檢查存儲容器和閥門，檢查是否有洩漏或損壞。

o 立即更換任何損壞的容器，並將其內容物作為危險廢物處理。

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